1959年,Richard P Feynman(1965年諾貝爾物理獎獲得者)就提出了微型機械的設想。1962年一個硅微型壓力傳感器問世,其后開發出尺寸為50~500μm的齒輪、齒輪泵、氣動渦輪及聯接件等微機械。1965年,斯坦福大學研制出硅腦電極探針,后來又在掃描隧道顯微鏡、微型傳感器方面取得成功。1987年美國加州大學伯克利分校研制出轉子直徑為60~12μm的利用硅微型靜電機,顯示出利用硅微加工工藝制造小可動結構并與集成電路兼容以制造微小系統的潛力。


生產過程是指從原材料(或半成品)制成產品的全部過程。對機器生產而言包括原材料的運輸和保存,生產的準備,毛坯的制造,零件的加工和熱處理,產品的裝配、及調試,油漆和包裝等內容。生產過程的內容十分廣泛,現代企業用系統工程學的原理和方法組織生產和指導生產,將生產過程看成是一個具有輸入和輸出的生產系統。能使企業的管理科學化,使企業更具應變力和競爭力
在生產過程中,直接改變原材料(或毛坯)形狀、尺寸和性能,使之變為成品的過程,稱為工藝過程。它是生產過程的主要部分。例如毛坯的鑄造、鍛造和焊接;改變材料性能的熱處理[1];零件的機械加工等,都屬于工藝過程。工藝過程又是由一個或若干個順序排列的工序組成的。[1]
工序是工藝過程的基本組成單位。所謂工序是指在一個工作地點,對一個或一組工件所連續完成的那部分工藝過程。構成一個工序的主要特點是不改變加工對象、設備和操作者,而且工序的內容是連續完成的。


機械零件是由若干個表面組成的,研究零件表面的相對關系,必須確定一個基準,基準是零件上用來確定其它點、線、面的位置所依據的點、線、面。根據基準的不同功能,基準可分為設計基準和工藝基準兩類。設計基準 在零件圖上用以確定其它點、線、面位置的基準,稱為設計基準。各外圓和內孔的設計基準是零件的軸心線,端面A是端面B、C的設計基準,內孔的軸線是外圓徑向跳動的基準。
